스트라스보 CMP 웨이퍼 폴리셔
Entrepix는 세 가지 다른 스트라스바우 CMP 장비 모델과 함께 작동합니다.
스트라스보 6DS-SP nTegrity
사양 및 기능:
완전 자동화된 정밀 연마
운영 및 처리 유연성과 함께 반복성이 필요한 애플리케이션에 이상적입니다.
자동 웨이퍼 처리
하나의 플래튼에서 두 개의 웨이퍼를 연마하여 처리량과 수량을 극대화할 수 있습니다.
웨이퍼를 연마하고 블랭킷 또는 패턴 소자 웨이퍼의 평탄도, 균일성 및 평탄화를 달성하기 위해 재료를 제거합니다.
처리 유연성
반복 가능한 결과
100mm~200mm 웨이퍼 크기
스트라스보 6EC 엔스파이어
사양 및 기능:
연구, 고장 분석 및 소량 생산을 위한 경제적인 CMP 도구
컬러 터치스크린을 통해 프로그래밍 가능한 반자동 작업
반복 가능하고 정확한 프로세스 제어
하나의 슬러리 펌프 표준, 두 번째 펌프 옵션
작은 크기: 48" x 37" x 72"
패드 컨디셔닝
4인치, 6인치 또는 8인치의 웨이퍼 크기
스트라스보 6EG nHance
사양 및 기능:
연구, 고장 분석 및 소량 생산을 위한 경제적인 CMP 도구
컬러 터치스크린을 통해 프로그래밍 가능한 반자동 작업
반복 가능하고 정확한 프로세스 제어
하나의 플래튼에서 두 개의 웨이퍼를 연마하여 처리량과 수량을 극대화할 수 있습니다.
웨이퍼를 연마하고 블랭킷 또는 패턴 소자 웨이퍼의 평탄도, 균일성 및 평탄화를 달성하기 위해 재료를 제거합니다.
처리 유연성
반복 가능한 결과
웨이퍼 크기 300mm
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