엔트레픽스 엔테그리티 폴란드어 헤드 테스터
더 스마트한 CMP 방법
Entrepix의 차세대 헤드 테스터는 데이터를 손에 넣어 다운타임을 줄이고 비용을 크게 절감할 수 있습니다.
Entrepix는 수년간의 테스트와 문제 해결을 통해 고객이 선호하는 이 혁신적인 헤드 테스터를 설계했습니다. 이제 헤드 테스트 단계는 레거시 버전의 단순한 검증 도구에서 강력한 문제 해결 플랫폼으로 탈바꿈합니다. 새로운 Entrepix 헤드 테스터는 사용자가 일련 번호를 통해 각 헤드를 추적하면서 민감한 CMP 프로세스를 다이얼링하는 데 도움이 되는 강력한 문제 해결 기능을 제공합니다. 이 테스터는 웨이퍼 디척을 시뮬레이션하고 웨이퍼 유무 센서 기능을 자동으로 확인하는 동시에 통계적 공정 제어를 위한 테스트 데이터를 추적합니다.
타이탄 I, 타이탄 II(프로파일러) 및 컨투어 폴리쉬 헤드용 6존 사용 가능
타이탄 I, 타이탄 II(프로파일러), 컨투어 및 EVO 폴리시 헤드용 8존으로 제공됩니다.
Entrepix의 헤드 테스터는 헤드 챔버 간의 '크로스 토크'를 실시간으로 모니터링하고 사용자가 테스트를 중단하여 챔버 문제를 더 빠르게 해결할 수 있도록 지원합니다.
사용자 친화적이고 간편한 조작
작동은 폴리싱 헤드를 로드하고 테스트 레시피를 시작하는 것만큼 간단합니다. 새로운 엔트리픽스 헤드 테스터의 또 다른 특징입니다:
사용자 친화적인 터치스크린 인터페이스
헤드 유형 선택
디척 시퀀스를 위한 웨이퍼 부재/웨이퍼 존재 센서 선택
데이터 추적을 위한 헤드 직렬화
데이터 로깅 및 그래프 인터페이스
데이터 다운로드를 위한 네트워크 호환 또는 사용자 수준에 따라 달라지는 USB 인터페이스
고유한 헤드 구성을 위한 맞춤형 설정 및 레시피 저장
일관된 결과, 가동 시간 증가
엔트리픽스의 엔테그리티 폴리쉬 헤드 테스터가 어떤 기능을 제공하는지 궁금하신가요? 필요한 사항을 알려주시면 곧 연락드리겠습니다.
