장비 업그레이드

어플라이드 머티어리얼즈 미라 업그레이드

Entrepix는 향후 10~15년 동안 Mirra 플랫폼 성능을 유지 및 개선하는 업그레이드, 교체 부품, 맞춤형 솔루션 및 예방적 유지 관리 서비스를 제공합니다.

사용 가능한 업그레이드에는 다음이 포함됩니다:

• 헤드 회전 모터 드라이버

• 헤드 스윕 모터 드라이버

• 습식 로봇 드라이버

• 모터 어셈블리 업그레이드 및 교체

• 상부 공압 어셈블리(UPA)

• UPA 이전

• 공압 로터리 유니언 및 슬립 링 어셈블리 교체용

• 하이 플렉스 케이블 관리

• 웨이퍼 슬립(손실) 센서

• DDF3 패드 컨디셔너 조립 및 업그레이드

• 미라 헤드 교체 솔루션

• 투명 커버

• 인쇄 회로 기판

• 완전한 교체 조립

• 폴란드 헤드 테스터

• 캘리브레이션 및 테스트 장비

• 슬러리 및 화학 물질 흐름 제어

• 듀얼 디스플레이 교체

• DC 전원 공급 장치 서랍 및 솔리드 스테이트 드라이브

• 웨이퍼 파손 감소

• HCLU 및 폴리쉬 헤드 소모품

어플라이드 머티어리얼즈 리플렉션® 업그레이드

Entrepix는 300mm 장비 시장에 진출하여 향후 수년간 HVM에서 사용되는 Reflexion® 플랫폼을 유지 및 개선하는 업그레이드, 교체 부품, 맞춤형 솔루션 및 유지보수 서비스를 제공합니다.

사용 가능한 업그레이드에는 다음이 포함됩니다:

• 모터 어셈블리 업그레이드 및 교체

• 상부 공압 어셈블리(UPA)

• UPA 재배치(레거시 3 및 4 영역)

• 공압 로터리 유니언 및 슬립 링 어셈블리 교체용

• DDF3 패드 컨디셔너 조립 및 업그레이드

• 리플렉션 헤드 교체 솔루션(타이탄, 프로파일러, 컨투어, 에보, 호라이즌)

• 투명 커버

• PM 감소를 위한 테프론 코팅

• 완벽한 교체 어셈블리

• 엔테그리티 폴리쉬 헤드 테스터

• 캘리브레이션 및 테스트 장비

• 슬러리 및 화학 물질 흐름 제어

• 클리너, 로드 컵, 폴리쉬 헤드 소모품