CMP 파운드리: 위탁 제조 및 연구 개발

Entrepix 파운드리는 오버플로 생산을 처리하고, 공정 엔지니어링 솔루션을 제공하며, 판매 및 설치 전에 장비 성능을 시연할 수 있습니다.

Entrepix의 파운드리는 고객을 대신하여 다양한 웨이퍼 생산 서비스와 R&D를 수행하는 곳입니다. 당사는 고객 팀의 연장선상에서 장치 제작, 대량 생산, 새로운 공정 연구, 새로운 재료, 장비 및 소모품의 시연 및 검증을 지원합니다.

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CMP를 위한 엔지니어링 및 기술 개발

Entrepix는 CMP, 세정 및 분산 공정 흐름에서 고객을 지원하기 위해 지식이 풍부한 엔지니어 및 기술 전문가 팀을 보유하고 있습니다. 쿠폰부터 200mm까지 모든 웨이퍼 직경을 다루며 고객을 지원합니다:

빠르게 발전하는 기술
학습 비용 절감
새로운 자료 통합
프로세스 개선 사항 개발
화면 소모품
비용 및 생산성 평가
설계 및 처리 방법의 유연성 확보

대량 생산

완벽한 아웃소싱과 오버플로 용량으로 고객의 요구와 사양에 맞게 웨이퍼를 제작하고 생산할 수 있습니다. 상위 10대 IDM인 당사는 백만 개 이상의 웨이퍼를 처리했으며 ISO 9001:2015 인증을 받았습니다.

보장된 주기 시간을 제공하고 FMEA, SPC, 내부 감사 및 CAR과 같은 품질 시스템을 사용합니다.

사내 처리 도구 세트

Entrepix에서는 고객의 성공 기준을 충족하기 위해 다음과 같은 처리 도구를 사용합니다:

처리 도구플랫폼
CMPAMAT Mirra: 150-200mm 웨이퍼 처리
IPEC 472(2): 쿠폰-200mm
CMP 후 정리OnTrak DSS-200 시너지: 100-200mm
OnTrak DSS-200 시리즈 2: 100-200mm
SRD: 75-200mm

사내 계측 장비

Entrepix에서는 균일성을 보장하기 위해 다음과 같은 계측 도구를 사용합니다:

계측 도구플랫폼
유전체 필름 두께써머웨이브 옵티프로브 2600DUV
마이크로팩 UV/Vis/NIR 반사계
전도성 필름 두께CDE ResMap 168 4포인트 프로브
기판 두께FSM 413-300
표면 프로파일 미터Dektak D8(초저력 및 3D 매핑 포함)
Tencor P2
정밀 분석 저울메틀러-톨레도, A와 D, 사르토리우스
결함 검사KLA-Tencor SP1 TBI(200mm)
AMAT 오봇 WF-736DUO
결함 검토라이카 광학 리뷰(AMAT 플랫폼에 내장)
광학 현미경니콘 옵티포토
자이스 에르고플랜(노마르스키 DIC 포함)
라이카 스테레오 줌
기타다양한 분석 및 특성화 장비
또한 사용 가능(타사)SEM, AFM, TXRF 및 기타 기술(추가 비용)