새로운 엔트레픽스 DSS-200
처리량 증가에 최적화되어 미래를 대비하는 최신 OnTrak
OEM에서 직접 제공하는 차세대 OnTrak 시스템이 출시되었습니다.
현대화된 Entrepix DSS-200 양면 포스트-CMP 웨이퍼 클리너는 기존 OnTrak 시스템과 동일한 친숙한 기능을 제공하면서 오늘날의 세정 공정 요구에 맞게 다양한 업그레이드가 이루어졌습니다.
온트랙 시스템의 OEM인 Entrepix는 신뢰할 수 있는 지원 및 예비 부품을 통해 신뢰성과 수명을 보장하는 새로운 DSS-200 온트랙을 설계했습니다.
DSS-200 클리너가 제공합니다:
레거시 온트랙 시스템과의 부품 교환 가능성
노후화된 부품의 교체 및 현대화
100-200mm 기판용 구성
맞춤형 설계된 캐리어로 소형 웨이퍼 수용 가능
DSS-200은 세 가지 구성으로 제공됩니다: CE, Synergy, Integra입니다.
DSS-200 애플리케이션에는 다음이 포함됩니다:
CMP 후 정리
사전 본드 청소
사전 사진 정리
고급 패키징 애플리케이션
금속 증착 후
ILD 후 증착
포스트 스크립트
기판 제조
OnTrak 업그레이드
OEM 지원을 통해 레거시 OnTrak 시스템에 대한 업그레이드가 가능하며, 언제든지 바로 사용할 수 있습니다. 업그레이드 옵션은 다음과 같습니다:
제어 시스템 및 소프트웨어 업그레이드
하스텔로이 스핀 캐리지
고효율 열 램프
메가소닉 청소
DI 물 절약
브러시를 통한 배송
인라인 믹스 희석
OnTrak 부품 지원
Entrepix는 차세대 DSS-200 클리너뿐만 아니라 램온트랙 DSS 시리즈 1, 시리즈 2 클래식 및 CE, Synergy, Integra 플랫폼에도 고품질의 OEM 부품을 제공합니다.
모든 온트랙 부품은 원래의 표준을 충족하거나 초과하도록 선택되거나 설계되었습니다. 고객이 필요한 것을 정확하게 얻을 수 있도록 철저한 입고 및 출고 검사를 제공합니다.
PM 키트 맞춤형 솔루션
표준 구성의 새로운 DSS-200을 사용하든, 다양한 커스터마이징이 가능한 수십 년간 입증된 OnTrak 시스템을 사용하든, 당사는 PM 키트를 제공합니다. 소니의 전문가 및 엔지니어 그룹이 고객의 요구에 맞는 최적의 솔루션을 조언하고 특정 애플리케이션에 맞는 PM 키트를 함께 조립할 수 있습니다.
| 엔트리픽스 시리즈 2 CE | 엔터프라이즈 시너지 | 엔트레픽스 인테그라 | |
|---|---|---|---|
| 청소 방법 | 브러시 스크럽 | 브러시 스크럽 | 브러시 스크럽 |
| 통합 | 아니요 | 아니요 | 예 |
| 브러시 유형 | 롤러 PVA | 롤러 PVA | 롤러 PVA |
| 다운포스 제어 | 예 | 예 | 예 |
| 엣지 스크럽 | 선택 사항 | 선택 사항 | 선택 사항 |
| MegPie™ 메가소닉 트랜스듀서 | 선택 사항 | 선택 사항 | 선택 사항 |
| 메가소닉 노즐 | 선택 사항 | 선택 사항 | 선택 사항 |
| 고압 DI 워터 스프레이 | 선택 사항 | 선택 사항 | 선택 사항 |
| 가열식 DI 급수 | 선택 사항 | 선택 사항 | 선택 사항 |
| 건조 방법 | 스핀 + 열 램프 | 스핀 + 열 램프 | 스핀 + 열 램프 |
| NH4OH | 예 | 예 | 예 |
| dHF | 아니요 | 예 | 예 |
| SC-1 | 사전 희석: 예 | 예 | 예 |
| SC-2 | 구연산 기반: 예 | 구연산 또는 HCL 기반: 예 | 구연산 또는 HCL 기반: 예 |
| 백사이드 화학 | 예 | 예 | 예 |
| 금속 CMP 청소 | 예 | 예 | 예 |
| STI CMP 클리닝 | 예 | 예 | 예 |
| 이중으로 포함된 프로세스 영역 | 아니요 | 예 | 예 |