새로운 엔트레픽스

OEM에서 직접 제공하는 차세대 OnTrak 시스템이 출시되었습니다.

현대화된 Entrepix DSS-200 양면 포스트-CMP 웨이퍼 클리너는 기존 OnTrak 시스템과 동일한 친숙한 기능을 제공하면서 오늘날의 세정 공정 요구에 맞게 다양한 업그레이드가 이루어졌습니다.

온트랙 시스템의 OEM인 Entrepix는 신뢰할 수 있는 지원 및 예비 부품을 통해 신뢰성과 수명을 보장하는 새로운 DSS-200 온트랙을 설계했습니다.

DSS-200 클리너가 제공합니다:

최신 Windows™ 기반 제어 시스템
초박형 및 취약한 기판을 위한 첨단 정밀 터치 기술 기반 웨이퍼 취급
레거시 온트랙 시스템과의 부품 교환 가능성
100-200mm 기판용 구성
맞춤형 설계된 캐리어로 소형 웨이퍼 수용 가능

Entrepix DSS-200에 대해 자세히 알아보기

DSS-200 애플리케이션에는 다음이 포함됩니다:

CMP 후 정리
사전 본드 청소
사전 사진 정리
고급 패키징 애플리케이션
금속 증착 후
ILD 후 증착
포스트 스크립트
기판 제조

DSS-200용 새로운 Entrepix enTrak 제어 시스템은 공구의 신뢰성을 극대화하고, 구형화로 인한 가동 중단을 방지하며, 설정 및 사용자 접근 절차를 간소화합니다.

최신 Windows™ 기반 시스템
강력한 웨이퍼 복구 기능
이벤트 로깅을 통한 향상된 추적성
역할 기반 접근 제어(RBAC)를 통한 강화된 보안
설정 가능한 알림 메시지
신속한 설정 시간을 위한 로봇 티칭 화면 구현
간편한 업그레이드 절차

OnTrak 업그레이드

OEM 지원을 통해 레거시 OnTrak 시스템에 대한 업그레이드가 가능하며, 언제든지 바로 사용할 수 있습니다. 업그레이드 옵션은 다음과 같습니다:

제어 시스템 및 소프트웨어 업그레이드
하스텔로이 스핀 캐리지
고효율 열 램프
메가소닉 청소
DI 물 절약
브러시를 통한 배송
인라인 믹스 희석
맞춤형 크기를 포함한 웨이퍼 크기 변경 키트

온트랙 업그레이드 구매하기

OnTrak 부품 지원

Entrepix는 차세대 DSS-200 클리너뿐만 아니라 램온트랙 DSS 시리즈 1, 시리즈 2 클래식 및 CE, Synergy, Integra 플랫폼에도 고품질의 OEM 부품을 제공합니다.

모든 온트랙 부품은 원래의 표준을 충족하거나 초과하도록 선택되거나 설계되었습니다. 고객이 필요한 것을 정확하게 얻을 수 있도록 철저한 입고 및 출고 검사를 제공합니다.

Entrepix는 새로운 OnTrak DSS-200 클리너와 램 OnTrak DSS 시리즈 1, 시리즈 2 클래식 및 CE, Synergy, Integra 플랫폼에 고품질 부품을 제공합니다.

PM 키트 맞춤형 솔루션

표준 구성의 새로운 DSS-200을 사용하든, 다양한 커스터마이징이 가능한 수십 년간 입증된 OnTrak 시스템을 사용하든, 당사는 PM 키트를 제공합니다. 소니의 전문가 및 엔지니어 그룹이 고객의 요구에 맞는 최적의 솔루션을 조언하고 특정 애플리케이션에 맞는 PM 키트를 함께 조립할 수 있습니다.

PM 키트 요청하기

	엔트리픽스 시리즈 2 CE	엔터프라이즈 시너지	엔트레픽스 인테그라
청소 방법	브러시 스크럽	브러시 스크럽	브러시 스크럽
통합	아니요	아니요	예
브러시 유형	롤러 PVA	롤러 PVA	롤러 PVA
다운포스 제어	예	예	예
엣지 스크럽	선택 사항	선택 사항	선택 사항
MegPie™ 메가소닉 트랜스듀서	선택 사항	선택 사항	선택 사항
메가소닉 노즐	선택 사항	선택 사항	선택 사항
고압 DI 워터 스프레이	선택 사항	선택 사항	선택 사항
가열식 DI 급수	선택 사항	선택 사항	선택 사항
건조 방법	스핀 + 열 램프	스핀 + 열 램프	스핀 + 열 램프
NH4OH	예	예	예
dHF	아니요	예	예
SC-1	사전 희석: 예	예	예
SC-2	구연산 기반: 예	구연산 또는 HCL 기반: 예	구연산 또는 HCL 기반: 예
백사이드 화학	예	예	예
금속 CMP 청소	예	예	예
STI CMP 클리닝	예	예	예
이중으로 포함된 프로세스 영역	아니요	예	예