AMAT Reflexion®
Entrepix는 Applied Materials Reflexion® 3600, Reflexion LK 3800, Reflexion LK Prime® 및 Reflexion LK Prime® S 통합 CMP 도구의 부품, 업그레이드, 서비스, 리퍼비시 서비스 및 리퍼비시 공구를 제공합니다.
Reflexion®의 소스
폴리 셔 교체 부품
Entrepix는 더 이상 사용되지 않는 부품이더라도 AMAT Reflexion® CMP 시스템 교체 부품을 구할 수 있는 곳입니다. UPA 시스템용 간단한 압력 트랜스듀서, 구형 모터 드라이버 또는 완전히 조립되고 엄격한 테스트를 거친 새 폴리시 헤드 또는 패드 컨디셔너가 필요한지 여부에 관계없이 모든 것을 갖추고 있습니다.
폴란드 헤드 리빌드
소니의 숙련된 장비 엔지니어는 3존 타이탄, 4존 프로파일러, 6존 컨투어, 8존 에보, 12존 호라이즌을 포함한 모든 유형, 크기 및 구성의 CMP 헤드를 재구축하는 전문가입니다. 소니는 항상 처음에 최적의 기능을 갖춘 헤드를 얻을 수 있는 도구와 지식을 갖추고 있습니다.
리퍼브 리플렉션®, 고객 서비스 제공
완전히 새로운 플랫폼을 소싱하지 않고 300mm CMP 기능을 확장해야 하나요? Entrepix는 기존 Reflexion® 툴을 리퍼비시하거나 다음과 같은 추가 툴을 소싱하여 리퍼비시할 수 있습니다:
Reflexion® 3600
Reflexion® LK 3800
Reflexion® LK Prime®
Reflexion® LK Prime® S
AMAT 리플렉션 업그레이드
Entrepix는 광범위한 테프론 코팅 서비스, 유지보수 및 모니터링을 용이하게 하는 투명 조립 커버, 틈새 요구 사항을 해결하기 위한 공정별 솔루션 등 다양한 Applied Materials Reflexion® 플랫폼 업그레이드를 제공합니다.
아래를 클릭하면 AMAT Reflexion® 업그레이드 전체 목록을 확인할 수 있습니다.