AMAT 미라
Entrepix는 어플라이드 머티어리얼즈 Mirra, MirraTrak 및 Mirra Mesa CMP 시스템에 대한 부품, 서비스, 업그레이드 및 전체 공구 리퍼비시를 제공합니다.
미라 부품에 필요한 모든 것을 위한 단일 소스
Entrepix는 더 이상 사용되지 않는 부품이 있더라도 AMAT Mirra CMP 시스템 교체 부품을 구매할 수 있는 곳입니다. UPA 시스템을 위한 간단한 크로스 모터 또는 압력 변환기를 찾고 있거나 완전히 조립되고 테스트된 폴리쉬 헤드, HCLU 또는 패드 컨디셔너가 필요한 경우 모두 지원합니다.
폴란드 헤드 리빌드
소니의 숙련된 장비 엔지니어는 모든 유형, 크기, 구성의 CMP 헤드를 리빌드하는 전문가입니다. 항상 처음에 최적의 기능을 발휘하는 헤드를 얻을 수 있는 도구와 지식을 갖추고 있습니다.
AMAT 미라 업그레이드
Entrepix는 새롭고 개선된 헤드 회전 모터 및 드라이버(오른쪽 사진), 패드 컨디셔닝 및 웨이퍼 처리 개선, 코팅 서비스, 웨이퍼 슬립 및 슬러리 흐름을 위한 감지 솔루션, 200mm 및 300mm 애플리케이션에 모두 적합한 최신 세대 Entegrity 헤드 테스트 플랫폼을 포함한 다양한 Applied Materials Mirra 플랫폼 업그레이드를 제공합니다.
아래를 클릭하여 AMAT 미라 업그레이드의 전체 목록을 확인하세요.
리퍼브 미라, 고객 서비스
완전히 새로운 플랫폼을 소싱하지 않고 Mirra 기능을 확장해야 하나요? Entrepix는 다음을 포함하여 기존 Mirra 도구를 새롭게 단장합니다:
Mirra 3400 독립형
미라트랙
미라 메사
또한 표준 및 Reflexion LK, LK Prime, LK Prime S 모델을 포함한 300mm Reflexion 공구의 리퍼비시 전문 업체입니다.
컨시어지 설계 및 제조 서비스로 시스템 성능 향상
엔트리픽스 엔지니어링 팀이 도와드리겠습니다. 당사는 AMAT Mirra 플랫폼을 포함하여 CMP 장비를 위한 다양한 업그레이드 및 맞춤형 엔지니어링 솔루션을 개발했습니다.
마술이라고 생각할 수도 있지만, 실제로는 CMP를 잘 알고 사랑하는 경험이 풍부하고 창의적인 엔지니어 팀이 만들어낸 결과물입니다.