리퍼브 SpeedFam IPEC CMP 폴리싱기
엔트리픽스는 네 가지 SpeedFam IPEC CMP 폴리싱기 모델을 리퍼비시할 수 있습니다.
SpeedFam IPEC Avanti 472
사양 및 기능:
완전 자동화된 정밀 CMP 도구
100mm에서 200mm로 웨이퍼 평탄화
운영 및 처리 유연성을 갖춘 반복 가능한 재료 연마 응용 분야에 적합
자동 웨이퍼 처리
2개의 플래튼, 2단계 연마 처리 기능으로 웨이퍼 처리량과 품질 극대화
연마 슬러리를 사용하여 반도체 재료를 제거하여 웨이퍼를 평탄화하여 평탄도와 균일성을 달성합니다.
완전 자동화된 정밀 연마, 처리 유연성 및 반복 가능한 결과 제공
웨이퍼 크기: 2인치, 3인치, 100밀리미터, 125밀리미터, 150밀리미터, 200밀리미터
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