일반 청소 및 검사

모든 레일과 드라이브를 청소하고 윤활합니다.

기본 장비

로드 보정

플래터 부족

헤드/암 스윕 보정

캐리어 및 플래튼 소진

다운포스 보정

배압 보정

패드 컨디셔너 작동 점검

캘리브레이션 언로드

도구별 문제 해결

장비 세트 관련 추가 아이템

핸들링 확인 및 보정

스핀 스테이션 기능 점검

브러시 롤러 벨트 교체

브러시 평행도 보정

모든 공압 실린더 점검

입력 스테이션 롤러 및 벨트

입력 스테이션 오링 교체

출력 스테이션 드라이브 벨트

브러시 스테이션 드라이브 보정

브러시 스테이션 O-링

출력 스테이션 조정

리프터 팁 점검

기준 평가

데이터 파일 백업

오류 로그 검토 및 해결

진공 수준 확인

테스트 처리

스테이지 청소 및 윤활

스테이지 중심 오프셋, 직교성 및 편심 확인

플랫/노치 파인더 램프 확인

테스트 강도 모니터

HeNe 및 IR 레이저 강도 테스트

현미경 램프 균일성 확인

모든 파장 보정